发布时间：2024-05-17 16:26:50
德国西格里集团（SGL Carbon）生产的石墨材料R6510是一种高性能的石墨材料，具有高纯度、高石墨化程度和良好的物理、化学性能。它在半导体生产中应用广泛，尤其是在晶体生长、硅外延、MOCVD反应器的镀膜过程中，以及作为半导体制造中高温和腐蚀性环境中的部件。
根据搜索结果，以下是R6510的一些关键特性和应用：
R6510 是市场上熟知的CZ5，已成为与Si-O气态环境直接接触的所用部件的行业标准。它用于硅CZ直拉单晶炉的石墨保温筒和导流筒，具有较长的使用寿命和较低的杂质含量，可以得到较高的晶体质量。
R6510的物理特性包括：
密度：1.83克/厘米?
孔隙率（开口）：10体积-%
平均晶粒尺寸：10 μm
孔径：1.5 μm
渗透率：4 x 10^-2^ 厘米?/秒
硬度：95 洛氏硬度 B
抗弯强度：60 MPa
杨氏模量：11.5 GPa
电阻：13 μOhmm
导热系数：100 W m^-1^ K^-1^
热膨胀（20-200°C）：4.0 x 10^-6^ K^-1^
灰分值：0.02 % 值11
R6510因其***性能，被广泛应用于光伏、电子及半导体、高温及真空电炉、传统工业、汽车及机械领域、燃料电池双极板等多个关键工业领域。
