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德国西格里石墨R6510发布日期：2024-05-17 16:26:50
德国西格里集团（SGL Carbon）生产的石墨材料R6510是一种高性能的石墨材料，具有高纯度、高石墨化程度和良好的物理、化学性能。它在半导体生产中应用广泛，尤其是在晶体生长、硅外延、MOCVD反应器的镀膜过程中，以及作为半导体制造中高温和腐蚀性环境中的部件。根据搜索结果，以下是R6510的一些关键特性和应用：R6510 是市场上熟知的CZ5，已成为与Si-O气态环境直接接触的所用部件的行业标准。它用于硅CZ直拉单晶炉的石墨保温筒和导流筒，具有较长的使用寿命和较低的杂质含量，可以得到较高的晶体质量。R6510的物理特性包括：密度：1.83克/厘米?孔隙率（开口）：10体积-%平均晶
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