苏州新原新材料有限公司
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  • 所 在 地:江苏 苏州 虎丘区
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德国西格里石墨R6510发布日期:2024-05-17 16:26:50
德国西格里集团(SGL Carbon)生产的石墨材料R6510是一种高性能的石墨材料,具有高纯度、高石墨化程度和良好的物理、化学性能。它在半导体生产中应用广泛,尤其是在晶体生长、硅外延、MOCVD反应器的镀膜过程中,以及作为半导体制造中高温和腐蚀性环境中的部件。根据搜索结果,以下是R6510的一些关键特性和应用:R6510 是市场上熟知的CZ5,已成为与Si-O气态环境直接接触的所用部件的行业标准。它用于硅CZ直拉单晶炉的石墨保温筒和导流筒,具有较长的使用寿命和较低的杂质含量,可以得到较高的晶体质量。R6510的物理特性包括:密度:1.83克/厘米?孔隙率(开口):10体积-%平均晶
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